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蘭格智能泵助力“中國芯”制造
中國是全球最大的半導體產(chǎn)品消費國家，但近90%的芯片需求仍仰賴進口集成電路。有分析稱，“中國芯”只是時間問題，中國政府已發(fā)布了促進芯片產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略，近年來美國的技術遏制很可能使得中國芯片追趕速度會更快。
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項目背景

芯片生產(chǎn)是一個非常復雜的點砂成金的過程——從砂子到晶圓再到芯片。
晶片先從砂石里層層提煉出來，中間涉及有拉晶、切割的工藝。然后在做好的晶圓上制作電路及電子元件，這也是是芯片制造中最關鍵的環(huán)節(jié)，主要包含鍍膜、光刻、顯影、刻蝕、離子注入等工藝，再經(jīng)過百道復雜的工藝和幾個月的加工，才能在在指甲蓋大小的空間中集成數(shù)公里長的導線和數(shù)以億計的晶體管器件。而封裝與測試業(yè)務屬于集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的后端行業(yè)。



蘭格精密泵對芯片制造可提供什么支持?

蘭格精密泵作為精密流體傳輸行業(yè)的領導者，一直致力于提供性能優(yōu)越的產(chǎn)品與解決方案。針對芯片制造中的關鍵工藝環(huán)節(jié)- 芯片鍍膜、顯影和蝕刻，蘭格可提供精密的產(chǎn)品組合，輸送重要的工藝化學品。


客戶需求

  · 泵送介質(zhì)：酸性試劑或者堿性試劑

  · 流量：幾十毫升/分鐘

  · 流量精度：±2%

  · 泵送液量范圍：幾十毫升至幾百毫升(與鍍膜厚度有關)

  · 鍍膜均勻性好，膜層致密

  · 工藝流程：蠕動泵泵送酸堿溶液，用于調(diào)節(jié)酸堿平衡度，然后將調(diào)節(jié)后的試劑泵送至噴頭，試劑被霧化后均勻噴灑至芯片表面進行鍍膜，鍍膜的厚度決定噴出的液量

解決方案
項目優(yōu)勢

  · 智能型蠕動泵L100-1F具有編程功能，客戶可根據(jù)實際工藝需要，實現(xiàn)均勻分配、預約啟動、工作過程中有計劃的反向運行、流量隨著時間發(fā)生周期性變化等功能；

  · 蠕動泵在傳輸流體時，流體僅與軟管內(nèi)壁接觸，而PharmedBPT材質(zhì)的軟管具有壽命長、化學耐受性強的特點，可延長軟管的使用壽命，減少停機時間，降低維護成本；

  · 智能型蠕動泵L100-1F具有觸摸屏、腳踏開關、模擬量信號、通信等多種控制方式，結合多種接口(USB,RJ11，DB9等)，便于實現(xiàn)系統(tǒng)集成。

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