蘭格智能泵助力“中國芯”制造
蘭格智能泵助力“中國芯”制造簡介:
中國是全球最大的半導(dǎo)體產(chǎn)品消費國家,但近90%的芯片需求仍仰賴進口集成電路。有分析稱,“中國芯”只是時間問題,中國政府已發(fā)布了促進芯片產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略,近年來美國的技術(shù)遏制很可能使得中國芯片追趕速度會更快。
芯片制造涉及到哪些關(guān)鍵工藝?
芯片生產(chǎn)是一個非常復(fù)雜的點砂成金的過程——從砂子到晶圓再到芯片。
晶片先從砂石里層層提煉出來,中間涉及有拉晶、切割的工藝。然后在做好的晶圓上制作電路及電子元件,這也是是芯片制造中最關(guān)鍵的環(huán)節(jié),主要包含鍍膜、光刻、顯影、刻蝕、離子注入等工藝,再經(jīng)過百道復(fù)雜的工藝和幾個月的加工,才能在在指甲蓋大小的空間中集成數(shù)公里長的導(dǎo)線和數(shù)以億計的晶體管器件。而封裝與測試業(yè)務(wù)屬于集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的后端行業(yè)。
蘭格精密泵對芯片制造可提供什么支持?
蘭格精密泵對芯片制造可提供什么支持?
蘭格精密泵作為精密流體傳輸行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者,一直致力于提供性能優(yōu)越的產(chǎn)品與解決方案。針對芯片制造中的關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)- 芯片鍍膜、顯影和蝕刻,蘭格可提供精密的產(chǎn)品組合,輸送重要的工藝化學(xué)品。
◆ 案例:蘭格智能泵在芯片鍍膜上的應(yīng)用
客戶要求
· 泵送介質(zhì):酸性試劑或者堿性試劑
· 流量:幾十毫升/分鐘
· 流量精度:±2%
· 泵送液量范圍:幾十毫升至幾百毫升(與鍍膜厚度有關(guān))
· 鍍膜均勻性好,膜層致密
· 工藝流程:蠕動泵泵送酸堿溶液,用于調(diào)節(jié)酸堿平衡度,然后將調(diào)節(jié)后的試劑泵送至噴頭,試劑被霧化后均勻噴灑至芯片表面進行鍍膜,鍍膜的厚度決定噴出的液量
客戶要求
· 泵送介質(zhì):酸性試劑或者堿性試劑
· 流量:幾十毫升/分鐘
· 流量精度:±2%
· 泵送液量范圍:幾十毫升至幾百毫升(與鍍膜厚度有關(guān))
· 鍍膜均勻性好,膜層致密
· 工藝流程:蠕動泵泵送酸堿溶液,用于調(diào)節(jié)酸堿平衡度,然后將調(diào)節(jié)后的試劑泵送至噴頭,試劑被霧化后均勻噴灑至芯片表面進行鍍膜,鍍膜的厚度決定噴出的液量
蘭格方案
L100-1F+YZ1515x-A+25# Pharmed管
蘭格智能泵產(chǎn)品組合的優(yōu)勢
· 智能型蠕動泵L100-1F采用7寸工業(yè)觸摸屏,提供圖形化界面,參數(shù)設(shè)置及操控都更加簡單方便。便于客戶進行參數(shù)設(shè)置及流量校準,以更高效的滿足高精度流量傳輸;
· 智能型蠕動泵L100-1F具有參數(shù)方案保存功能,可根據(jù)不同的芯片鍍膜厚度要求,將工作參數(shù)保存為不同的方案。每次根據(jù)實際工藝需要直接調(diào)用工作參數(shù),進一步幫助客戶提高工作效率;
· 智能型蠕動泵L100-1F具有編程功能,客戶可根據(jù)實際工藝需要,實現(xiàn)均勻分配、預(yù)約啟動、工作過程中有計劃的反向運行、流量隨著時間發(fā)生周期性變化等功能;
· 蠕動泵在傳輸流體時,流體僅與軟管內(nèi)壁接觸,而PharmedBPT材質(zhì)的軟管具有壽命長、化學(xué)耐受性強的特點,可延長軟管的使用壽命,減少停機時間,降低維護成本;
· 智能型蠕動泵L100-1F具有觸摸屏、腳踏開關(guān)、模擬量信號、通信等多種控制方式,結(jié)合多種接口(USB,RJ11,DB9等),便于實現(xiàn)系統(tǒng)集成。